3次元抵抗体電極の解析

 シート抵抗要素を使用することにより、無電解銅めっき上の電気銅めっきなどの薄膜上への電気めっきの膜厚分布が容易に計算できます。
 さらに、抵抗体電極の解析に反復法の解法を使うと収束性が悪く長い計算時間が掛かります。短時間での計算を可能にするために直接法の解法も準備しています。

●電位の時間変化のアニメーション

遮蔽なし


●電流密度のコンター図


1sec後

8sec後

240sec後

●膜厚のコンター図


30sec後

120sec後

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